黄展云，陈晖，谢德英，陈弟虎
( 中山大学电子与信息工程学院，广东广州510275)

摘要: 以建设一条“硅工艺教学生产线”为目标，中山大学建立了半导体工艺实验室。详细介绍了实验室的建设现状，包括分区设置和仪器配备，结合微电子专业特点，开设了有关课程。从三方面详细阐述了该实验室的建设和管理实践，分别是: 建设规范化实验室、建设安全实验室和建设绿色实验室，有利于实验教学工作顺利、有效和安全地进行。最后，提出三个需要解决的问题，包括师资队伍的建设、实验室建设工作计划的完善和开放实验室制度的建立。该实验室的建设，完善了微电子专业的实验教学，有利于提高学生的实践能力和创新能力。
关键词: 工艺实验室; 规范化; 安全管理; 绿色实验室
中图分类号: G482 文献标识码: A doi: 10．3969 /j．issn．1672－4305．2016．06．060

基金项目: 中山大学本科教学改革研究课题“集成电路制造工艺创新实验对学生科研能力的培养”( 项目编号: 30000－16300008) 。