一、实验室介绍

       实验室位于广州大学城中山大学南实验楼E栋，面积150平方米。拥有包括单晶少子寿命测试仪、双电测四探针测试仪、电容-电压特性测试仪、晶体管特性图示仪、探针台、数字源表等一批测试设备和TCAD半导体器件特性仿真软件。主要面向微电子科学与工程专业开设《半导体材料与器件特性表征实验》课程，可同时容纳45人上课（一人一台套）。

二、主要仪器介绍

       LT-1B型高频光电导少数载流子寿命测试仪

       RTS-9型双电测四探针测试仪

       C-V300型电容电压测试仪

      半导体管特性曲线图示仪

      PEH-6手动探针台

      2450数字源表