实验平台介绍专栏：集成电路工艺制造实验平台介绍

实验平台简介

先进的微电子制造工艺是现代电子与信息技术的基石，为了适应微电子领域的高速发展和产业对人才的需求，赌博软件 建设了集成电路工艺制造教学实验平台（以下简称“工艺实验平台”）。

工艺实验平台位于南实验楼F102-103，隶属电子与信息工程学院实验教学中心（含集成电路工程与技术实验教学中心和电子与信息工程实验教学中心）。面积约700平方米，分为千级洁净实验室、万级洁净实验室、实验准备室和辅助设备室。千级实验室主要从事微加工工艺实验，包括光刻、清洗、刻蚀、氧化、扩散和金属化等半导体工艺实验。万级实验室主要从事器件的测试实验。

目前实验室拥有两条完整的半导体教学工艺线，是国内最先进的教学工艺线之一。配备了系列微加工工艺设备，如曝光机、氧化扩散炉、甩干机、去胶机、刻蚀机、清洗槽、磁控溅射系统、PEVCD、ICP-PECVD、原子层沉积系统等。同时也配置了器件测量设备，如薄膜分析仪、探针测试台、半导体参数测试仪、台阶仪等。满足开设工艺实验课程、本科生创新训练、毕业设计和本科生科研项目的需求，是实验、实训、实习教学的综合性实践教学平台。

实验课程设置

根据赌博软件 的微电子科学与工程和光电信息科学与工程两个专业的2021级人才培养方案，工艺实验平台开设了3门本科实验课程：《微加工工艺实验》、《光电器件集成技术实验》和《工程设计与实践》，每年实验学生人数达200人。开设的单项实验有：光刻实验、氧化实验、扩散实验、刻蚀实验、物理淀积实验等。实验课程采用理论与实践相结合，线上线下混合式教学，完成实验预习、工艺仿真、版图设计、工艺操作、器件特性测量等实验训练，从仿真设计到工艺制备，再到器件测量，培养全链条的微加工实验素养。学生在实验中制备出了各种器件，包括电阻器件、光电探测器、PIN、NMOS等等，并通过测量验证了相关理论知识。学生在实验过程中锻炼了动手能力和独立思考能力。

成果与交流

集成电路工艺制造实验平台自投入使用以来，以人才培养，实验安全为目标，制定了一系列实验室安全守则，积极完善和提高实验平台条件，推动微加工相关课程高质量内涵式发展。本实验平台已承担了三项校内的教改项目，获得中山大学第八届教学成果奖二等奖（微电子工艺与测试实验教学体系建设），目前《微加工工艺实验》正申请培育国家级线下一流本科课程，预计2022年底正式出版实验教材。同时积极与国内高等院校积极开展教学交流，先后接待了包括中科大、华南理工大学、广东工业大学等兄弟院校的参观，分享了工艺制造的实验室建设经验和实验教学经验。同时也承担了中山大学校内相关工科学院的教学生产实习